乙酰丙酮铪检测

乙酰丙酮铪

简介理化性质应用制备 用途与合成方法 MSDS 乙酰丙酮铪价格(试剂级) 上下游产品信息中文名称中文同义词英文名称英文同义词CAS号分子式分子量EINECS号相关类别Mol文件结构式

乙酰丙酮铪

乙酰丙酮铪;2,4-戊二酮酸铪;2,4-戊二酮酸铪,97%;乙酰丙酮铪(IV);2,4-戊二酮酸铪 200G

HAFNIUM(IV) 2,4-PENTANEDIONATE

HAFNIUM ACETYLACETONATE;HAFNIUM 2,4-PENTANEDIONATE;HAFNIUM(IV) 2,4-PENTANEDIONATE;HAFNIUM (IV) ACETYLACETONATE;TETRAKIS(ACETYLACETONATO)HAFNIUM(IV);HAFNIUM (IV) ACETYLACETONATE MIN 96+%;HAFNIUM (IV) 2,4-PENTANEDIONATE, 97+%;Hafnium(Ⅳ) acetylacetonate

17475-67-1

C20H28HfO8

574.92

237-861-9

金属有机物;微米/纳米电子材料;溶液沉积前驱体;金属化合物-铪盐;化工原料;其他原料;有机化工原料;metal beta-diketonate complexes

17475-67-1.mol

乙酰丙酮铪 性质

熔点沸点形态颜色水溶解性水解敏感性暴露限值

193°C

82°C/.001mmHg

粉末

白色至类白色

Insoluble in water.

4: no reaction with water under neutral conditions

ACGIH: TWA 0.5 mg/m3NIOSH: IDLH 50 mg/m3; TWA 0.5 mg/m3

乙酰丙酮铪 用途与合成方法

简介乙酰丙酮铪为白色结晶状粉末，易溶于甲醇、乙醇、氯仿、苯、甲苯、乙醚等常规有机溶剂，遇水水解。它的升华温度为193°C，是MOCVD (金属有机化学气相沉积）制备HfO2涂层和薄膜的理想前驱体，早在20世纪70年代M. Balog就以Hf (acac)4为前驱体制备了高纯HfO2薄膜。理化性质

白色粉末。溶于苯和四氯化碳。

应用以Hf (acac)4为前驱体制备的HfO2薄膜具有高熔点（约2758°C )，高的介电常数（约25)等优异的物理化学性能，在高温保护涂层、光学涂层、栅介质材料、传感器等领域具有广泛的应用前景。特别是由于HfO2具有高的k值、宽的带隙（5. 7ev)，与Si接触较好的热力学稳定性和良好的晶格匹配特性，是替代传统SiO2栅介质材料的理想化合物。制备

乙酰丙酮铪是一种配合物，其呈白色固体状，为乙酰丙酮的主要铪配合物，可由四氯化铪、乙酰丙酮和碱来制备。

生产方法 

将HfO2溶于氢氟酸中，同硝酸一起蒸干，将固体物质溶于水中、制得金属盐的水溶液。

按照Hf（acac）4的组成，将化学计量的乙酰丙酮溶于苯中，制得乙酰丙酮的有机溶液。

将上述水溶液和有机溶液混合，在激烈搅拌下，慢慢滴加稀NaOH水溶液，使溶液pH值达到一适当值（通常5～7）。络合物从有机相中析出。然后用无水苯或其他有机溶剂进行重结晶。