连接射频氧源与纳米离子探针的耦合部件自动保护系统

本实用新型提供一种连接射频氧源与纳米离子探针的耦合部件自动保护系统，包括耦合部件，氧源外壳与耦合部件之间采用垫圈和螺栓螺母固定连接；还包括**隔离阀，所述的耦合部件、**隔离阀及铯源腔体之间通过螺栓螺母固定连接，**隔离阀用以将氧源外壳与铯源腔体隔离开；耦合部件内设有截流隔膜，用以截流氧源发生泄漏事故时的冷却液。本实用新型避免冷却液灌入铯源真空腔体，减少不必要的仪器内部件清洗工作，氧源拆卸维护时无需破坏铯源腔体真空状态。