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一种液态金属薄膜的制备方法
一种液态金属薄膜的制备方法
2023-02-08
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一种液态金属薄膜的制备方法,该方法采用热蒸发技术,将液态金属作为蒸发源蒸发沉积在衬底表面形成液态金属薄膜,在此过程中将蒸发沉积过程分多次进行,相邻两次之间通入气体,使沉积的液态金属粒子表面被氧化,有利于降低液态金属粒子在沉积过程中的团聚,提高液态金属粒子在衬底表面的分散均匀性,经多次沉积形成的薄膜整体具有导电性。另外,所述制备方法可通过蒸发参数的设置和/或沉积次数的调控而控制液态金属薄膜的厚度,得到电阻从欧姆到兆欧级别的液态金属薄膜。
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