ウェットプロセス加工設備及びそれに用いる回転式搬送器具

Kind Code: A1 A wet process processing facility and a rotary carrier used therein are provided in which the detected rotation speed of the rotary carrier is changed to be equal to a set rotation speed. A wet process processing facility includes a sensor module (400), an injector (500), a pressure regulation module, a sparging device (700), a body (800), a transport unit (900) and a controller. The sensor module 400 is installed in the main body 800, the member to be detected 22 is installed for each rotary carrier 100, and the controller has a set rotation speed, whereby the controller can detect the rotation of the rotary carrier. The detected rotational speed can be calculated every 100, and the controller compares the detected rotational speed with the set rotational speed. be adjusted. [Selection drawing] Fig. 6【課題】回転式搬送器具の検出回転速度が設定回転速度と等しくなるように変化させる、ウェットプロセス加工設備及びそれに用いる回転式搬送器具を提供する。【解決手段】ウェットプロセス加工設備は、センサモジュール400、噴射装置500、圧力調整モジュール、散布装置700、本体800、搬送ユニット900及びコントローラを含む。本体800内にセンサモジュール400が設置されており、回転式搬送器具100毎に被検出部材22が設置されており、且つコントローラは設定回転速度を有しており、これによりコントローラが回転式搬送器具100毎に検出回転速度を算出できるようになっており、さらにコントローラは検出回転速度と設定回転速度を比較し、異なっていた場合、コントローラは、圧力調整モジュールを制御して噴射装置500に対する流体圧力の調整を行わせる。【選択図】図6