インゴット用加工砥石車

2022-12-30 25浏览
A grinding wheel for ingots that effectively reduces damage to wafers during the processing of ingots. A working grinding wheel for ingots comprises a wheel-shaped body, the wheel-shaped body having a first outer annular edge, a second outer annular edge, and a first outer annular edge and a second outer annular edge. and the first outer annular edge has a chamfer of dimension C2.0 to C4.0. [Selection drawing] Fig. 1【課題】インゴットの加工過程において、ウェーハの損傷を効果的に減らすインゴット用加工砥石車を提供する。【解決手段】インゴット用加工砥石車は、ホイール状本体を備え、ホイール状本体は、第1の外部環状縁部11、第2の外部環状縁部、及び第1の外部環状縁部と第2の外部環状縁部の間に位置する加工面100を有し、かつ、第1の外部環状縁部は寸法がC2.0~C4.0の面取りを有する。【選択図】図1