Wafer-Schutzplatte und Verfahren zum Schützen eine

发明人：Mengel, Manfred | Niederhofer, Andreas | Tamme, Holger | Wenger, Nina

所有人：Infineon Technologies AG 年：2022,

语种：英语

公开国家：DE 国家：德国

专利申请号：DE102016015811-5 专利申请日期：2016-07-28

公开(公告)号：DE-102016015811-B3 公开日期：2022-06-23

分类号：H01L-21/673 国际主分类号：H01L-21/673 国际分类号：H01L-21/673 | B65D-85/86 | H01L-21/683

摘要：Wafer-Schutzplatte (880) zum Schutz mindestens eines auf einem Waferrahmen (104, 204) mit elastischer Trägerfolie (104F, 204F) angeordneten Wafers (102), aufweisend:einen Aufliegebereich (880A) zum Aufliegen auf einem starren Bereich (104S, 204S) des Waferrahmens (104, 204) ;einen Innenbereich (880I); undeinen Kontaktbereich (880K) zwischen dem Innenbereich (880I) und dem Aufliegebereich (880A);wobei die Wafer-Schutzplatte (880) so gestaltet ist undauf einer den Wafer aufweisenden Oberseite des Waferrahmens (104, 204) angeordnet werden kann, dass bei aufliegendem Aufliegebereich (880A) der Innenbereich (880I) über dem Wafer (102) angeordnet ist und der Kontaktbereich (880K) sich so weit in Richtung zur Trägerfolie (104F, 204F) hin erstreckt, dass bei einem Kontakt zwischen der Trägerfolie (104F, 204F) und dem Kontaktbereich (880K) die Oberseite des Wafers (102) nicht in Kontakt ist mit der Wafer-Schutzplatte (880).