Photoleitende Messspitze für ortsaufgelöste Messun

作者：Sawallich, Simon | Nagel, Michael, Dr. | Michalski, Alexander

发明人：Sawallich, Simon | Nagel, Michael, Dr. | Michalski, Alexander

所有人：Protemics GmbH 年：2021,

语种：英语

公开国家：DE 国家：德国

专利申请号：DE102019005412-1 专利申请日期：2019-07-24

公开(公告)号：DE-102019005412-A1 公开日期：2021-01-28

分类号：G01Q-60/22 国际主分类号：G01Q-60/22 国际分类号：G01Q-60/22 | G01N-21/3581

摘要：Die Erfindung betrifft eine Messspitze zur Verwendung in optoelektronischen Messsystemen zur ortsaufgelösten Erfassung komplexer dielektrischer Materialeigenschaften - insbesondere von Leitfähigkeiten. Die Messspitze enthält monolithisch integrierte photoleitende Strukturen zur Erzeugung und Detektion von elektromagnetischer (EM) Strahlung in einem Frequenzbereich von 0.01 THz bis 10 THz. Darüber hinaus verfügt die Messspitze über ein Streuelement zur Erhöhung der lokalen Wechselwirkung der in der Messspitze erzeugten EM Strahlung und einer angenäherten Testoberfläche. Das Streuelement ist zu den Emitter- und Detektorstrukturen entkoppelt, d.h. die Anregung findet nicht über eine Wellenleiterverbindung statt, sondern über eine frei propagierende EM Welle, die von der Emitterstruktur abgestrahlt wird. Darüber hinaus sind die Emitter- und Detektorstrukturen so angeordnet, dass eine Unterdrückung des von der Testoberfläche großflächig spiegelnd reflektierten Signals stattfindet und im Wesentlichen die Rückreflexion des Streuelements detektiert wird. Zur weiteren Unterdrückung zur Testoberfläche unspezifisch gestreuter Signale ist eine optische Modulation des Streuelements vorgesehen. Die Emitter/Detektor-Anordnung ermöglicht eine Signalreferenzierung zur Eliminierung von Messfehlern durch Amplituden- und Phasendrifts innerhalb des Messsystems.